我国石英玻璃行业虽然发展较快，但是与国外大公司相比差距仍很大，主要是产品纯度比国外差，Fe、Al、K、Na等元素含量比国外高几倍，大部分石英玻璃产品的羟基含量比国外先进企业产品高5～6倍。高档、大规格石英制品还不能生产，全部依赖进口。本项目是以高纯石英砂和高纯四氯化硅为原料，采用先进的高频等离子体（氧或氮气）技术固相熔融高纯石英砂生产低羟基石英玻璃，利用高频氧等离子体气相氧化高纯四氯化硅（SiO2≥99.9999%）新工艺制备无水合成石英玻璃。
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