URE-2000B型紫外光刻机

来源: 发布时间：2016-03-22

主要技术特点:该机采用i线紫外曝光光源,光学系统采用特殊的消衍射和线条E定直增强技术,采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明,并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统(可同时使用) ,曝光能量高,聚光角度小,突具厚胶曝光功能,曝光设定采用微机控制,菜単界面友好,操作简便。

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