先进精密光学薄膜制造技术

光学薄膜是光学元器件制造的关键技术之一，其应用无处不在，从眼镜镀膜到手机，电脑，电视的液晶显示再到LED 照明等等，它关系到我们生活的方方面面。先进光学系统，如高能量高功率激光器、拉曼光学、荧光显微等，对光学薄膜提出了极高的要求。目前，这类先进光学系统上使用的关键光学薄膜器件仍然主要依赖进口。本组在超低损耗高损伤阈值激光薄膜和超精密滤光片两个领域具有大量的技术储备。研制的可见-近红外高阈值光学膜承载的峰值功率可达到GW量级，超反射膜的总损耗达到了20ppm 以下，并制备成功了多款拉曼、荧光滤光片，性能达到了国际顶级滤光片生产商同类产品的水平。目前，我们有能力承担193nm 到10.6um 的各类先进光学薄膜元件的研制任务。