超纯氢气纯化和生产（>8N）—吸附剂技术

电子信息、半导体、LED(Light Emitting Diode)照明和光伏发电产业的迅猛发展，促进了对超纯氢气（纯度>99.9999%）的强烈需求。但现有的超纯氢气主要通过昂贵的电解水技术进行生产，水电解设备和氢气生产成本都很高，而且氢气来源单一。为此，我们团队自主研发了超纯氢气纯化吸附剂新技术。

超纯氢气纯化吸附剂技术采用 催化氧化加吸附的工艺路线，能用于脱除氢气中的CxHy(x=1-30),CO, N2, O2, CO2 和H2O 等ppm 级杂质，将这些杂质浓度均降到1 ppb 以下，满足半导体及LED 生产等电子行业对超纯氢（>8-9N）的需求。该工艺操作简单，吸附材料可反复再生，使用寿命长，另外可以使用工业副产氢、天然气或氯碱气等廉价氢源，跟电解水相比显著降低成本，适合用于规模化工业生产。这项技术将来还能拓展到超纯氮及超纯氩等的生产中。

该技术已经申请国家专利。