系列涡旋干式真空泵

来源: 发布时间:2016-04-06
项目简介
  

涡旋干式真空泵是一种真正意义上的清洁无油、高效率的真空获得设备,主要应用于集成电路、半导体、医疗、生物制药、食品等领域,解决了真空仪器设备的油污染问题,成为了世界上发展最快的泵种之一。沈阳科仪公司攻克了涡旋型线修正、涡旋盘加工工艺、泵表面处理方法、密封材料、间隙与极限真空关系研究等技术难题,研制开发了具有自主知识产权的涡旋干式真空泵,技术指标达到了国际同类产品水平。该成果不仅实现了替代进口,创造可观的经济效益和社会效益,同时对改善国内供需不平衡,打破垄断,发展民族装备制造业等也将起到积极作用。

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