真空获得装备技术创新团队

真空获得装备技术创新团队致力于干式真空泵装备研发，面向极大规模集成电路制造领域的迫切需求，自主搭建了设计、零部件检测、整机性能验证等平台，建立起可靠性实验、热分析实验、振动噪声测试等专业化支撑条件，从真空理论基础、干式真空泵抽气理论、热力学、流体力学、结构材料学、机械、电气及自动化等多维度，全面掌握了干式真空泵的设计、研发、生产、检测试验和售后维修等全生命线核心技术，研制开发出的干式真空泵产品具有完全自主产权、填补了国内空白，并实现了在光伏、石油化工等重点产业的扩展应用。

主要研究方向包括：

● 真空获得装备技术与工艺

● 真空获得装备真空热处理

● 真空获得装备金属材料表面处理

1.罗茨干式真空泵及系列真空阀门

沈阳科仪公司通过制定实施科学合理的人才团队建设措施，培养出了一支具有实战经验和持续创新能力的真空获得装备技术创新团队，团队先后攻克了洁净真空获得系统与集成电路制造工艺的优化组合、理论型线设计与多种转子形式的组合、密封结构和振动/噪声抑制技术、表面防腐技术、控制/反馈软件与通用控制接口结合、阀门密封技术、电机与驱动系统设计等关键技术，成功研制了具有完全自主知识产权、应用于不同使用环境、不同结构的9种干泵、3种真空阀门产品，产品的抽速、噪声、极限真空度、可靠性等核心技术指标经检测均达到了国外同类产品先进水平，打破了国外产品的市场垄断，并以“同质低价”的优势迫使国外产品降价30%销售。