尖端科研装备技术创新团队

尖端科研装备技术创新团队致力于先进真空装备研发，紧跟国内外先进技术，勇于实践创新。围绕大规模集成电路、高性能材料等产业对先进真空装备的需求，通过搭建真空获得技术与应用、真空应用实验与验证、真空密封技术与应用等研发平台以及超高真空清洗、真空表面处理特种工艺试验等配套设施，开展了洁净真空获得、洁净真空部件制备、洁净真空密封等研究，突破了典型重大关键装备及成套工艺、核心零部件与子系统制备技术，研制了先进真空技术成套装备，提高了我国真空技术领域的国际竞争力。

1.真空密封技术

真空密封技术攻关和工程化研究开发取得的成果，已由依托单位成功实现了转化，研制开发的系列真空阀门产品已进入批量化生产阶段，产品性能获得了国内用户的高度肯定，研制开发的光闸产品实现了替代进口。

2.国家重大科技基础设施

参与了上海光源重大科学装置项目预研，并在首期建设的7条光束线和实验站中，承担并完成了5个前端区、4条光束线以及全部国产关键部件的研制任务（包括5个插入件白光狭缝、4个单色仪腔体和支架、19个束线荧光靶、14个丝扫描等），其中与中科院上海应用物理所、西安光机所合作完成的“单色仪”填补了国内空白，改变了我国该类产品全部依赖进口的局面。